SM-150勻膠機

一、SM-150勻膠機產品概述：

SM-150旋涂機是一款手動或半自動薄膜涂覆的高性能勻膠機，它的優點在于具有令人信服的高度涂膜均勻性和工藝重復性，并且操作簡單、使用舒適。市面上的光刻膠與涂層材料都可被均勻涂覆到尺寸最大為 150mm (6") 127x127mm (5"x5")的基板上。旋涂工藝腔設計的直徑為176mm，為了使花費在旋涂工藝腔清潔上的精力最小化，SAWATEC公司開發了一種極其實用且經濟的工藝腔保護碗。工藝結束后，可以簡單地移除和清理這種保護碗。經由如此的高品質設計，也可以將維護成本最小化。因此，SAWATEC勻膠機可被優先應用于實驗室，研發，試產項目以及研究所。

二、SM-150勻膠機基本功能和技術參數：

（1）適用基材類型：晶圓片、硅片、玻璃片等表面結構、厚度不大的基材；（防止基板太厚不能合上蓋子）

（2）適用基材尺寸：小碎片至150mm (6英寸) 直徑圓片或者127x127mm (5英寸x5英寸)方片；

（3）可編程設置多達50條程序(每條程序包含24個程序段)；

（4）旋轉速度：0 到 10,000rpm （+/-1rpm）

（5）旋轉加速度：0–8,000rpm 為0.8秒；0–10,000rpm為1秒 。（空載時）

（6）旋轉減速度：10,000rpm-0 為2.5秒；8,000rpm-0 為0.8秒 。（空載時）

（7）工藝時間：每個程序段的給膠時間為 0~99秒，總的工藝時間可為0~2376秒；

（8）3.5英寸彩色顯示屏的觸摸屏面板控制，方便用戶程序配置；

（9）旋轉方向 ：順時針、逆時針；

（10）手動裝卸基材，通過真空和安全互鎖保護來固定基材；

（11）手動蓋子帶有空氣入口和閉合安全保護；

（12）工藝結束時有聲音信號；

三、選配項：

（1）半自動式50毫升管式滴膠系統，帶有手動給膠手臂和回吸功能；

（2）旋涂工藝腔的氮氣吹掃；

（3）用于簡化操作的“啟動/停止"腳踏開關(電纜長度 1.8m)；

（4）經陽極氧化鋁電鍍處理制成旋涂工藝腔；

（5）鋁制或 PE(聚乙烯)材料制成的工藝腔保護碗（內襯）；

（6）晶圓對準工具 2~6英寸(適用圓形基材)；

（7）勻膠機吸盤（chuck）：為了達成良好的涂覆效果，我們提供了不同尺寸、材料和設計的。根據用途的不同，可使用單塊一體式結構勻膠機吸盤或具有光學輔助置中功能的兩部分構成的勻膠機轉接托盤。勻膠機吸盤的安裝、更換過程非常簡單，不需要使用工具。

四、設計和尺寸：

（1）桌上式版本 ：SM -150-BT

（2）內嵌式版本： SM-150-BM

（3）緊湊且節省空間的結構形式；

（4）POM(聚甲醛樹脂)材料制成的工藝碗，確保了高材料兼容性；

（5）POM(聚甲醛樹脂)材料制成的集成式防濺環，確保無光刻膠濺出；

（6）透明蓋板：玻璃制成；

（7）具有高精度旋轉電機：

（8）經電解拋光處理的不銹鋼外殼；

（9）外殼(桌面版): 350 x 510 x 403mm (長*寬*高）

（10）重量(桌面版): 約 29kg

（11）控制器模塊(內嵌版): 300 x 300 x 368mm (長*寬*高）

（12）控制器面板(內嵌版): 320 x 166 x 50mm（長*寬*高）

（13）重量(內嵌版): 約 20kg

五、接口：

（1）電源：230 VAC  50/60Hz  10A

（2）腳踏開關用插頭接口；

（3）真空接口：

（4）CDA接口：

（5）排放接口 ?12mm

（6）桌面版廢氣接口 ?38mm ；內嵌版廢氣接口 ?25mm；