箱式紫外臭氧清洗機

一、箱式紫外臭氧清洗機BZS250GF-TS技術參數：

1.整機采用不銹鋼304制作，關鍵元器件采用施耐德，歐姆龍等品牌；

2.電源：220V；

3.燈管：特殊格柵狀燈管（進口石英材料），光強26-30mW/cm2,250W，壽命5000小時；

4.主要工作光譜：185nm+254nm；

5.有效清洗面積：8、10英寸（可選擇其中一種清洗尺寸）；

6.清洗時間控制器：0~99.99小時或分鐘；

7.安全防護功能：當清洗腔門打開時，燈管自動熄滅；

8.壽命計時器：計算燈管使用壽命；

9.照射高度： 配置升降托盤，可調高度0~130mm；

10.UV ON/OFF指示，異常指示/警報；

11.燈管預熱：具燈管預熱提示功能，使清洗數據更精準；

12.加熱（選配）：可選擇加配外置加熱平臺，溫度范圍：常溫~450攝氏度；

13.排風功能：自帶臭氧排風系統，可分檔調節風速，8cm直徑出風口，配置風管及緊固件；

14.凈重：22kg

二、箱式紫外臭氧清洗機BZS250GF-TS應用領域

■在進行薄膜沉積之前先進行基片清洗。清除浮渣和穩定化處理光刻膠。超高真空度密封。

■清洗硅芯片，透鏡，反光鏡，太陽能面板，冷軋鋼，慣性引導零件和 GaAs芯片

■清潔焊劑，混合電路以及平板LCD顯示器

■蝕刻特氟隆，氟橡膠以及其它有機材料

■增強GaAs 和Si氧化物鈍化表面

■增強玻璃的除氣作用

■基片藍膜去除

■增強塑料表面的鍍膜的粘附性

■基片終測后墨跡清楚

■去除光刻膠

■平板顯示器/液晶顯示器

■去除光刻機臺上的光刻膠殘留物

■在電路板封裝和打片之前清洗）

■光纖

■增強表面親水特性

■為生物科學應用做清洗和消毒

■光學透鏡

■其它應用